Классификация процессов травления: ионное, реактивное и плазмохимическое. Основные частицы, участвующие в процессе плазменного травления: атомы, радикалы, ионы и электроны. Рабочие параметры процесса: давление газа и скорость его потока через реактор.
02.10.2013 |
Физика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 46
