Устройство для получения высокочастотного индукционного разряда. Условия циклотронного резонанса. Виды реакторов высокочастотного емкостного разряда. Основные способы генерации плазмы. Зависимость скорости плазменного травления от параметров процесса.
02.10.2013 |
Физика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 113
