Водородная энергетика и плазменные технологии

Свойства оксидных покрытий, полученных с помощью дуального магнетрона

Способы нанесения оксидных пленок. Физические основы работы магнетронных распылительных систем. Особенности нанесения оксидов дуальной магнетронной распылительной системы. Процессы роста и параметры тонких пленок. Ионно-плазменная установка "Яшма".

15.06.2012 | Водородная энергетика и плазменные технологии | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 109