Исследование вольт-фарадных характеристик многослойных структур на кремниевой подложке
Устройство структуры металл-диэлектрик–полупроводник. Типы полупроводниковой подложки. Экспериментальное измерение вольт-фарадных характеристик и характеристика многослойных структур. Методология электрофизических измерений, описание их погрешности.
07.01.2011 |
Физика полупроводников |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 48