Исследование вольт-фарадных характеристик многослойных структур на кремниевой подложке

Устройство структуры металл-диэлектрик–полупроводник. Типы полупроводниковой подложки. Экспериментальное измерение вольт-фарадных характеристик и характеристика многослойных структур. Методология электрофизических измерений, описание их погрешности.

07.01.2011 | Физика полупроводников | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 48