Особенности работы источника ионов. Распределение электростатических полей, состав ионов газа, металла. Экспериментальные данные по определению состава ионного пучка. Внедрение элементов в поверхностный слой обрабатываемого материала (ионная имплантация).
30.09.2012 |
Основы электротехники |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 64
