Масс-спектрометрические методы анализа в микроэлектронике
Исследование метода анализа состава вещества, основанного на определении отношения массы частицы к её заряду. Принципиальное устройство масс-спектрометра. Электронная и химическая ионизация. Особенности разделения ионов анализатором масс. Типы детекторов.
05.01.2014 |
Физика |
Физика и энергетика |
Язык: русский |
Просмотры: 58
