Использование дефектов, возникающих при имплантации водорода или гелия, для формирования глубинных структур в кремнии

Возможность формирования различных структур в стандартных пластинах монокристаллического кремния с использованием дефектов, создаваемых имплантацией водорода или гелия. Поперечная проводимость сформированных структур. Системы нанотрубок в кремнии.

Использование дефектов, возникающих при имплантации водорода или гелия, для формирования глубинных структур в кремнии

25.06.2010 | Физика | Физика и энергетика | Язык: русский | Просмотры: 67